| Menşe yeri: | Çin |
|---|---|
| Marka adı: | BAXIT |
| Sertifika: | CE |
| Model numarası: | BXT-MPCVD |
| Min sipariş miktarı: | 1(Min. Sipariş) |
| Fiyat: | USD149080- 150000Set|1 Set/Sets(Min. Order) |
| Teslim süresi: | 5-8 iş günü |
| Ödeme koşulları: | L/C, T/T, D/A, D/P |
| Yetenek temini: | 5 |
| çalışma frekansı: | 2450MHz | Çıkış gücü: | 0.1 ~ 6 kW sürekli ayarlanabilir |
|---|---|---|---|
| Güç kararlılığı: | ±%1'den daha iyi (@ derecelendirilmiş durum) | Çıkış dalga kılavuzu arayüzü: | FD-26/22 standart flanşlı BJ-26/22 |
| Güç girişi: | 380VAC/50Hz, 3-faz 5-telli, 11kW | Soğutma suyu akışı: | 18L/dak |
| Sistem duran dalga katsayısı: | VSWR ≤ 1.5 | mikrodalga sızıntısı: | ulusal standartları karşılamak |
| Boyut ve çalışma modu: | Φ200 x 300 (Y) TM modu |
| Mikrodalga jeneratörü ve sistemi | çalışma frekansı | 2450MHz |
| Çıkış gücü | 0.1 ~ 6 kW sürekli ayarlanabilir | |
| Güç kararlılığı | ±%1'den daha iyi (@ derecelendirilmiş durum) | |
| Çıkış dalga kılavuzu arayüzü | FD-26/22 standart flanşlı BJ-26/22 | |
| Güç girişi | 380VAC/50Hz, 3-faz 5-telli, 11kW | |
| Soğutma suyu akışı | 18L/dak | |
| Sistem duran dalga katsayısı | VSWR ≤ 1.5 | |
| mikrodalga sızıntısı | ulusal standartları karşılamak | |
| Mikrodalga vakum boşaltma odası | Boyut ve çalışma modu | Φ200 x 300 (Y) TM modu |
| Etkili biriktirme alanı | Φ50mm | |
| Basınç kontrol aralığı | 0,5KPa~30KPa | |
| Basınç kontrol doğruluğu | ±15 Pa | |
| Vakum alımı | Tek kristal büyümesi | 10-15μm/H büyüme hızı, tek büyüme kalınlığı ≥ 1,6 mm |
| Tek kristal kalitesi | çıplak gözle neredeyse hiç kusur yok | |
| Vakum sistemi | üfleme modu | N2 ile doldurun |
| Nihai vakum derecesi | 8×10-4Pa'dan daha iyi | |
| Vakum kaçak oranı | ≤10-9pA.m3/s | |
| Basınç artışı | 24 saatlik ortalama basınç artışı 1Pa/H'den az |
| Gaz kütle akış sistemi | Kesinlik | 2%-100%FS,giriş basıncı0.2-0.3Mpa |
| Gaz tipi ve aralığı | H2(1SLM),CH4(100SCCM),O2(10SCCM),N2(20SCCM) | |
| Örnek sahne sistemi | Örnek aşama çapı | Φ60mm, su soğutmalı; |
| Örnek ayar aralığı tablo |
0~15mm | |
| Boşluk plakası ayar aralığı | 0~60mm | |
| Yüzey sıcaklığı ölçümü | kızılötesi sıcaklık ölçümü Aralık |
600~1200℃(Kızılötesi sıcaklık ölçümü) |
| Sıcaklık kontrol hassasiyeti | sıcaklık kontrol hassasiyeti±5℃; | |
| Sabit sıcaklık alanının kontrol aralığı | molibden platformunun her noktasının sıcaklık farkı≤30 ℃ | |
| Cihaz arayüzü | Giriş ve çıkış suyu | G1" dış tel |
| Gaz bağlantısı | 1/4" VCR dış tel | |
| Egzoz deşarj arayüzü | 3/4" dış tel | |
| Güç hattı | TB4506 | |
| Yalıtım direnci | ≥5MΩ | |
| Güvenilirlik | normal koşullar altında sürekli ve kararlı çalışma süresi 24 saatten az olmayacaktır. | |
| Toplam güç kaynağı | 380VAC±5%/50Hz,3faz5telli,13kW | |
| Toplam soğutma suyu | 34L/dak, temiz yumuşak su, giriş suyu sıcaklığı 20℃±5℃;Su basıncı 0.2~0.4MPa | |
| Boyutlar | ~1,95(U)x0,8(G)x1,90(Y)m | |
